从嵌入ＣＭＯＳ　ＭＥＭＳ振荡器展望ＩＣ设计的潜在变革

摘要：随着CMOS MEMS振荡器大规模制造技术的成熟，应用将涉及汽车、电视、摄像机、个人电脑、便携式设备等等几乎一切电子设备，本文向中国工程师概要介绍CMOS MEMS谐振器主流技术及行业动态、在IC中嵌入CMOS MEMS振荡器的设计流程以及相关支持工具的发展趋势。

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